SergeyAS; не вижу смысла в пароизоляции в вашем случае. есть разные нивелирующие массы которые позволяют работать "с разными толщинами".
есть которые могут сами растекаться в слое от 1,5-2 мм, есть которые от 5 мм.
толщина слоя в первую очередь зависит от величины перепадов на основании.
если стелить пароизоляцию, тогда это плавающая система, применять только безусадочные нивелирки и толщина минимум 4 см.