Имхо. Заполняете полости между балками минватой... Делаете лаги из досок от 60 мм толщиной, шириной скажем 100мм , в горизонт, с шагом не более 30см по осям лаг. Выравнивание лаг с помощью подкладок из фанеры ( желательно с ПВА) разных толщин, лаги прикручиваете сквозь подкладки к балкам. Перед выравниваем рекомендую сначала разложить все лаги по месту, поверх скрепить/прикрутить поперек лаг по краям ровные бруски/правила и выравнивание производить сразу такой решетки... по окончании выравнивания бруски/правила снять. Сверху фанера 21мм в один слой. Или тоже самое, но через стойки рег пола. Если основание под плитку: высоту подъема уменьшаете на слой ГВЛ. ГВЛ прикручиваете поверх фанеры.... Думаю, что при нагружении, балки дадут некоторый прогиб, поэтому выравнивание лучше делать по нагруженным балкам...